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FilmTek 2000SE光譜型橢偏儀

簡要描述:FilmTek 2000SE光譜型橢偏儀以非常低的成本為薄膜應(yīng)用提供了的測量性能和速度。FilmTek SE提供了自動測量薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)的功能,非常適合學(xué)術(shù)和研發(fā)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2019-02-01
  • 訪  問  量:536

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詳細(xì)介紹

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Measurement Features

FilmTek™

2000SE / 3000SE

Index of Refraction折射率
(at 2µm thickness)

±0.0002

Thickness Measurement Range

膜厚范圍

1Å-200µm

Maximum Spectral Range (nm)

大光譜范圍

190-1700

Standard Spectral Range (nm)

標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍

240-1000

Reflection

反射

Yes

Transmission

透射

Yes (3000)

Spectroscopic Ellipsometry

光譜橢圓分析法

Yes

Power Spectral Density

Yes

Multi-angle Measurements (DPSD)

Yes

TE & TM Components of Index

 No

Multi-layer thickness

Yes

Index of Refraction

Yes

Extinction (absorption) Coefficient

Yes

Energy band gap

Yes

Composition

Yes

Crystallinity

Yes

Inhomogeneous Layers

Yes

Surface Roughness

Yes

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